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ETA620測(cè)量平臺(tái)絲桿升降，平臺(tái)上設(shè)置V型槽，用來測(cè)量形狀較小的工件，可提高測(cè)量精度
更新時(shí)間：2024-08-16
名稱內(nèi)容測(cè)量范圍Z軸（垂直）320μm(Ra=80μm)X軸（水平）17.5mm分辨率Z軸（垂直）0．01μm/±20μm0．02μm/±40μm0．04μm/±80μm0．08μm/±160μm測(cè)量項(xiàng)目參數(shù)Ra、Rq、Rz、Rt、Rp、Rv、RS、RSm、Rz(JIS)、Ry(JIS)、RSk、R3z、Rmax、Rpc、Rmr、Rku、RΔa、RΔq、Rδc、Ry
更新時(shí)間：2024-08-16
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